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剖析濺射靶材行業(yè)的發(fā)展歷程、競爭格局及下游細(xì)分市場的應(yīng)用情況
發(fā)布日期:2025-02-28 11:11:32

剖析濺射靶材行業(yè)的發(fā)展歷程、競爭格局及下游細(xì)分市場的應(yīng)用情況

1、濺射靶材行業(yè)發(fā)展歷程

靶材即濺射靶材,是濺射薄膜制備的核心,高性能濺射靶材更是制造電子元器件PVD工藝中,制備顯示面板、太陽能電池、半導(dǎo)體集成電路等表面電子薄膜的關(guān)鍵。

濺射技術(shù)源于國外。早期工藝因高氣壓、高溫、低沉積速率等問題,無法滿足工業(yè)化生產(chǎn)。但自20世紀(jì)80年代起,輔助電極、磁控濺射及脈沖電源等技術(shù)的應(yīng)用,讓濺射工藝優(yōu)勢凸顯,應(yīng)用范圍不斷拓寬,如今已成為薄膜工業(yè)化制備的主流方法。

濺射靶材行業(yè)發(fā)展初期,設(shè)備與靶材多由國外廠商提供。因國外靶材與設(shè)備廠商長期協(xié)同,靶材濺射效果契合下游需求,從而形成先發(fā)與競爭優(yōu)勢。所以,全球濺射靶材研發(fā)與生產(chǎn)集中于美、日、德等國的少數(shù)企業(yè),行業(yè)集中度高。經(jīng)多年技術(shù)積累,這些國外企業(yè)憑借技術(shù)、生產(chǎn)控制及產(chǎn)品質(zhì)量,主導(dǎo)全球高端濺射靶材市場。

受行業(yè)發(fā)展歷程和境外技術(shù)壁壘影響,我國濺射靶材行業(yè)雖經(jīng)多年發(fā)展,但多數(shù)企業(yè)產(chǎn)品集中在中低端。國外廠商通過設(shè)分支、建基地等搶占國內(nèi)高端靶材應(yīng)用市場。近年來,隨著平面顯示、半導(dǎo)體等制造業(yè)產(chǎn)能向國內(nèi)轉(zhuǎn)移,國內(nèi)濺射靶材需求占全球30%以上。鑒于國際形勢,實現(xiàn)國內(nèi)重點行業(yè)關(guān)鍵設(shè)備核心材料自主可控十分關(guān)鍵。

近年來,在國家戰(zhàn)略推動下,我國涌現(xiàn)一批專注高性能濺射靶材研發(fā)生產(chǎn)的企業(yè)。部分領(lǐng)軍企業(yè)已成功開發(fā)出高端應(yīng)用領(lǐng)域的濺射靶材,為大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化奠定研發(fā)基礎(chǔ),創(chuàng)造市場化條件。

2、濺射靶材的定義及分類

濺射靶材是PVD領(lǐng)域應(yīng)用量最大的鍍膜材料。磁控濺射是常用薄膜制備技術(shù),荷能粒子在真空加速形成高能束流,轟擊固體表面,使原子動能交換,被轟擊固體(即濺射靶材)的原子沉積到基板,經(jīng)后續(xù)工藝形成導(dǎo)電層等。

濺射靶材由“靶坯”與“背板”(平面靶)或“背管”(旋轉(zhuǎn)靶)綁定而成。靶坯是受粒子束流轟擊的核心部分,濺射鍍膜時,其表面原子被濺射至基板形成電子薄膜。背板或背管起固定作用,因靶坯強(qiáng)度低,且濺射在高電壓、高真空機(jī)臺內(nèi)進(jìn)行,所以靶坯需與背板、背管通過綁定工藝接合,背板或背管要具備良好導(dǎo)電、導(dǎo)熱性。

濺射靶材的種類較多,即使相同材質(zhì)的濺射靶材也有不同的規(guī)格、形狀或應(yīng)用領(lǐng)域。按照不同的分類方法,可將濺射靶材分為不同的類別,主要分類情況如下:

濺射靶材的分類情況

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資料來源:普華有策

3、濺射靶材在產(chǎn)業(yè)鏈中的地位

濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈上下游關(guān)系

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資料來源:普華有策

作為制備功能性薄膜的核心原材料,濺射靶材有著廣泛的下游應(yīng)用領(lǐng)域。平面顯示行業(yè)是目前濺射靶材最大的下游應(yīng)用領(lǐng)域,在我國靶材市場結(jié)構(gòu)中的占比在40%以上。同時,太陽能電池、半導(dǎo)體集成電路、信息存儲亦是濺射靶材重要應(yīng)用領(lǐng)域。作為上述領(lǐng)域生產(chǎn)所需的關(guān)鍵材料,濺射靶材具有較高附加值和良好的市場發(fā)展前景。濺射靶材及主要下游應(yīng)用領(lǐng)域的發(fā)展情況如下:

(1)平面顯示

濺射靶材在平面顯示領(lǐng)域主要應(yīng)用于半導(dǎo)體顯示面板和觸控屏的生產(chǎn)制造。顯示面板是在玻璃基板上涂布顯示材料,經(jīng)過一定的工藝處理以實現(xiàn)顯示功能的工具,經(jīng)過裝配后形成顯示模組。應(yīng)用領(lǐng)域包括電視、電腦與顯示器等;觸控屏是一種可接收觸頭等輸入訊號的感應(yīng)式顯示裝置。顯示模組與觸控屏結(jié)合組成觸控顯示模組,實現(xiàn)觸控顯示一體化的功能,廣泛應(yīng)用于智能手機(jī),平板電腦、車載電子等領(lǐng)域。

(2)太陽能電池行業(yè)

濺射靶材主要用于薄膜電池背電極以及HJT太陽能電池導(dǎo)體層,隨著太陽能電池技術(shù)的不斷發(fā)展和市場規(guī)模的擴(kuò)大,對濺射靶材的需求也在快速增長。

(3)半導(dǎo)體集成電路行業(yè)

半導(dǎo)體集成電路用濺射靶材純度要求極高,一般在5N(99.999%)以上,先進(jìn)制程達(dá)6N(99.9999%)以上。其主要靶材類型有超高純的銅、鉭、鋁、鈦靶材及鎢鈦合金靶材等,銅、鋁靶材用于制備導(dǎo)電層,鉭、鈦靶材用于制備阻擋層,鎢鈦合金靶材用作封裝材料。

隨著信息化、網(wǎng)絡(luò)化和知識經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展,物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等新興應(yīng)用領(lǐng)域需求強(qiáng)勁,帶動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速增長。在此背景下,我國半導(dǎo)體集成電路用濺射靶材市場將保持高速增長。

(4)低輻射玻璃

建筑節(jié)能需求的不斷提高,帶動了低輻射玻璃市場的發(fā)展。濺射靶材用于在玻璃表面制備低輻射膜,能夠有效降低玻璃的熱傳導(dǎo)系數(shù),提高建筑物的能源利用效率。

4、濺射靶材行業(yè)發(fā)展情況分析

高性能濺射靶材是濺射鍍膜關(guān)鍵材料,屬薄膜材料。行業(yè)市場隨濺射鍍膜下游領(lǐng)域拓展而擴(kuò)大。早期薄膜材料僅用于抗腐蝕、制鏡面等,后因制備及檢測技術(shù)進(jìn)步,性能提升,應(yīng)用領(lǐng)域拓寬。

20世紀(jì)50年代,電子與信息產(chǎn)業(yè)興起,薄膜材料用于印刷線路板、集成電路微型化等領(lǐng)域;70年代磁控濺射技術(shù)出現(xiàn),靶材用于實驗與小生產(chǎn);80年代起,半導(dǎo)體集成電路等電子信息產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展,工藝迭代,帶動磁控濺射技術(shù)和高性能濺射靶材行業(yè)發(fā)展,廠商為滿足需求不斷研發(fā),催生新型靶材。21世紀(jì)以來,物聯(lián)網(wǎng)等新型領(lǐng)域發(fā)展,濺射靶材應(yīng)用領(lǐng)域持續(xù)擴(kuò)大,需求提升。總之,科技進(jìn)步和社會需求增長將拓展濺射靶材下游應(yīng)用,帶動行業(yè)發(fā)展與市場需求增加。

據(jù)統(tǒng)計,2017-2023年,全球濺射靶材市場規(guī)模從129億美元上升至258億美元,年復(fù)合增速為12.25%。隨著平面顯示、集成電路半導(dǎo)體、太陽能電池、記錄媒體以及節(jié)能玻璃等新型基礎(chǔ)設(shè)施和新型應(yīng)用領(lǐng)域的發(fā)展,濺射靶材的終端應(yīng)用領(lǐng)域?qū)⑦M(jìn)一步擴(kuò)大,全球濺射靶材市場規(guī)模仍將持續(xù)穩(wěn)定增長。

2017-2023年全球濺射靶材市場規(guī)模

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資料來源:普華有策

在國家政策支持與下游應(yīng)用需求支撐下,我國高性能濺射靶材行業(yè)技術(shù)突破、產(chǎn)品性能提升,市場規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大。2016-2023年,其市場規(guī)模從177億元增至476億元,年復(fù)合增長率15.18%。未來,全球產(chǎn)業(yè)鏈轉(zhuǎn)移及國內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展,將使下游對高性能濺射靶材需求不斷增加,市場空間逐步拓展,預(yù)計2029年我國該行業(yè)市場規(guī)模有望達(dá)720億元。

5、濺射靶材行業(yè)競爭格局

高性能濺射靶材是技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè),生產(chǎn)要求極高,長期被境外壟斷。以JX金屬、霍尼韋爾、東曹、普萊克斯和三井金屬為代表的大型跨國企業(yè)占據(jù)了全球大部分市場份額。

早期,我國因技術(shù)和下游市場限制,濺射靶材行業(yè)發(fā)展慢,有實力企業(yè)少,境外廠商通過設(shè)子公司、建基地等搶占國內(nèi)主要應(yīng)用領(lǐng)域市場。近年,國內(nèi)平面顯示與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)崛起,下游產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移,濺射靶材產(chǎn)業(yè)規(guī)??焖僭鲩L。其應(yīng)用廣泛,但各領(lǐng)域要求不同,境外技術(shù)封鎖,致使國內(nèi)企業(yè)多集中于中低端,產(chǎn)業(yè)規(guī)模小。不過,江豐電子、阿石創(chuàng)等一批本土企業(yè)加大技術(shù)投入,突破技術(shù)門檻,進(jìn)入知名下游企業(yè)供應(yīng)鏈,打破境外壟斷,保障關(guān)鍵原材料自主供應(yīng)。

國內(nèi)主要靶材廠商早期受資金和技術(shù)制約,多從相近難點靶材突破,形成不同領(lǐng)域和靶材類型的側(cè)重優(yōu)勢。如江豐電子在半導(dǎo)體集成電路領(lǐng)域優(yōu)勢顯著,聚焦鋁、鈦等靶材;先導(dǎo)電子等多家企業(yè)主攻平面顯示領(lǐng)域,隆華科技側(cè)重鉬、ITO靶材,歐萊新材側(cè)重銅靶材,蕪湖映日科技與先導(dǎo)電子是平面顯示ITO靶材的龍頭企業(yè)。

濺射靶材行業(yè)內(nèi)主要企業(yè)情況

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資料來源:普華有策

2025-2031年濺射靶材行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈細(xì)分產(chǎn)品調(diào)研及前景研究預(yù)測報告,涵蓋行業(yè)全球及中國發(fā)展概況、供需數(shù)據(jù)、市場規(guī)模,產(chǎn)業(yè)政策/規(guī)劃、相關(guān)技術(shù)、競爭格局、上游原料情況、下游主要應(yīng)用市場需求規(guī)模及前景、區(qū)域結(jié)構(gòu)、市場集中度、重點企業(yè)/玩家,企業(yè)占有率、行業(yè)特征、驅(qū)動因素、市場前景預(yù)測,投資策略、主要壁壘構(gòu)成、相關(guān)風(fēng)險等內(nèi)容。同時北京普華有策信息咨詢有限公司還提供市場專項調(diào)研項目、產(chǎn)業(yè)研究報告、產(chǎn)業(yè)鏈咨詢、項目可行性研究報告、專精特新小巨人認(rèn)證、市場占有率報告、十五五規(guī)劃、項目后評價報告、BP商業(yè)計劃書、產(chǎn)業(yè)圖譜、產(chǎn)業(yè)規(guī)劃、藍(lán)白皮書、國家級制造業(yè)單項冠軍企業(yè)認(rèn)證、IPO募投可研、IPO工作底稿咨詢等服務(wù)。(PHPOLICY:GYF)